

1. Độ dày sản phẩm: 0,2–1 mm
2. Yêu cầu độ chính xác kích thước cắt: ±0,02 mm
3. Hiệu suất gia công: 6 giây/chiếc
4. Gia công không tiếp xúc, giảm thiểu hư hại vật liệu và có độ chính xác cao
5. Thiết bị có giao diện thân thiện với người dùng, thao tác đơn giản và bảo trì thuận tiện
6. Bàn động cơ tuyến tính bằng đá cẩm thạch, đảm bảo độ ổn định cao
Thấu kính AR, kính phủ quang học
Mẫu máy | Máy cắt và tách thấu kính ống dẫn sóng nhiễu xạ AR hoàn toàn tự động |
Phạm vi gia công | Wafer 8 inch và 12 inch (hoàn toàn tự động) |
Độ chính xác định vị lặp lại của bàn máy | ±1 μm |
Độ chính xác định vị động của bàn máy | ±3 μm |
Tốc độ di chuyển tối đa của bàn máy | 200 mm/s |
Độ chính xác định vị camera | ±0,01 mm |
Tổng khối lượng máy | ≤4,5 t |
Nguồn laser | Laser pico giây hồng ngoại |
Bước song | 1030 nm |
Công suất | 40 W |
Độ rộng xung | <10 ps |
Phương thức làm mát | Làm mát bằng nước |
Yêu cầu nguồn điện | AC 380 V / 50 Hz, 3 pha |